செயல்பாட்டு அம்சங்கள்
1. சிக்கலான பொருள் அளவீட்டு தொழில்நுட்பம்
மூன்றாம் தலைமுறை பரந்த டைனமிக் வழிமுறையை ஏற்றுக்கொள்கிறது, இது அதிக பிரதிபலிப்பு உலோகங்கள்/இருண்ட ஒளி-உறிஞ்சும் பொருட்களின் அளவீட்டு சிக்கல்களை மேற்பரப்பு பிரதிபலிப்பு தழுவல் வரம்பில் 0.5%-98%உடன் தீர்க்கும்.
2. அதிவேக இயக்க இழப்பீடு
தொழில்துறை-தர இயக்கம் தெளிவற்ற அடக்குமுறை வழிமுறை அளவீட்டு துல்லியமான பிழையை <0.1% 3M/s நேரியல் வேகத்தில் உறுதிப்படுத்த முடியும், அதிவேக உற்பத்தி வரி ஆய்வின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது.
3. சப்மிக்ரான்-நிலை பகுப்பாய்வு
காப்புரிமை பெற்ற துணை பிக்சல் எட்ஜ் பொருத்துதல் தொழில்நுட்பம், தகவமைப்பு இடைக்கணிப்பு வழிமுறையுடன் இணைந்து, 5 மிமீ நிலை முழுமையான துல்லியத்தை (@1 மீ அளவீட்டு தூரம்) அடைகிறது.
4. ஆப்டிகல் சிஸ்டம் புதுமை
• 200W உயர்-சக்தி லேசர் மூல, டைனமிக் வரம்பு 120DB க்கு விரிவாக்கப்பட்டது
• 10nm அலைவரிசை குறுகலான வடிகட்டி, சுற்றுப்புற ஒளி அடக்க விகிதம்> 60dB
5. நுண்ணறிவு ஒத்திசைவு கட்டுப்படுத்துகிறது
μs- நிலை வெளிப்பாடு ஒத்திசைவு தூண்டுதல், நேர அடிப்படை நடுக்கம் <10ns, வெப்பநிலை சறுக்கல் <0.01% ஐ 8 மணிநேர தொடர்ச்சியான வேலை செய்வதை உறுதி செய்கிறது.
6. பல பரிமாண தரவு வெளியீடு
முப்பரிமாண அளவு தரவு (L/W/H ± 0.05%)
புள்ளி மேக அடர்த்தி> 20000 புள்ளிகள்/இரண்டாவது
இடஞ்சார்ந்த ஒருங்கிணைப்பு பொருத்துதல் துல்லியம் ± 0.1 மிமீ
வெளிப்புற பரிமாணங்கள்
